شناسایی و تعییین نمایۀ عمقی اکسیژن در سطح مواد، لایههای نازک و بهویژه در کاربردهای صنعتی که با طیف گستردهای از اکسیدها استفاده میشود، بسیار ضروری است. در این بررسی، از دو روش آنالیز با باریکۀ یونی (IBA)، یعنی پراکندگی الاستیک تشدیدی (RES) برای اکسیژن (16O(α, α)16O) و واکنش هستهای (16O(d, p1)17O و 16O(d, p0)17O)، برای به دست آوردن نمایۀ عمقی غلظت اکسیژن در آلومینای آندی نانو حفره استفاده شد.