اندازه‌گیری هیدروژن در عمق نمونۀ سیلیکان متخلخل به روش آشکارسازی ذرات پس‌ زده از برخورد کشسان

سیلیکان متخلخل (PS) از حل الکتروشیمیایی سیلیکان در محلول HF+DMF به‌ دست می‌آید. در فرایند تشکیل حفره‌ها در سیلیکان، ترکیبات هیدروژن‌ دار در سطح دیواره‌های حفره‌ها ایجاد می‌شوند. در این تحقیق با اندازه‌گیری میزان هیدروژن در عمق نمونۀ PS، توزیع تخلخل در عمق نمونه تخمین زده شده است.